高度集成、旋进辅助的分析型 4D- STEM

TESCAN TENSOR 是一款中等加速电压、近超高真空的集成 4D-STEM， 用于对功能材料、薄膜、天然和合成颗粒的纳米级形态、化学和结构特性进行多模态表征，具有出色的 4D-STEM 性能和良好的普遍适用性。

测量功能:

TESCAN TENSOR 为材料科学家、半导体研发和失效分析人员以及晶体学家提供了众多已预设的STEM、4D- STEM和断层扫描测量的参数:

• STEM BF, ADF 和 HAADF 成像
• STEM 晶格像
• 成分 (能谱分析和元素面扫)
• 取向 / 物相分布成像
• 应力分布图
• 虚拟 STEM
• STEM 和 EDS 重构
• 衍射重构

性能:

TESCAN 从零开始开发了全新的 TENSOR，优化了STEM 扫描的同步功能：

• 混合像素的直接电子衍射相机衍射成像
• 2个无窗EDS探测器(2个大立体角)进行快速地能谱采集
• 快速，旋进电子束频率高达 72kHz
• 一体化的静电束闸
• 近实时4D-STEM数据分析、处理和可视化软件(TESCAN Explore)
• 都集成在模块化、中高压、近超高真空 (样品区域真空达到10^-6 Pa) 的肖特基场发射电子枪上

可用性:

TESCAN TENSOR 是一台可以像扫描电镜一样易于使用的扫透电镜（STEM）。它可以让使用者把时间花在样品分析上，而不是浪费于参数调整。新手用户只需要最少时间的训练，就能很快获得结果。有经验的用户可以使用选配的 API 开发适合自己的测量功能，并通过 HyperSpy、LiberTEM 或  Py4DSTEM 等开放平台的解决方案导出 TENSOR 4D- STEM 的数据集进行离线处理。